シリーズ
ポンプ形式
排気速度(?/min)
到達圧力(Pa)
TD
スクリュー式ドライ真空ポンプ
650 to 3000
to 0.7
【備考】シーケンサ制御タイプ
BEH
7000 to 30000
to 0.08
TRIC
30000 to 60000
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