KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機(jī)

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機(jī)

產(chǎn)品型號(hào): 6879BK

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機(jī) 的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：

KAIJO楷捷_6879BK_超聲波精密清洗機(jī)

ＵＳシャワー（両面対応）超音波洗浄機(jī)

ＬＣＤ?ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構(gòu)造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従來(lái)のＵＳシャワーに比べ、約５倍の超音波強(qiáng)度（當(dāng)社比）が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式ＬＣＤ洗浄裝置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μｍ以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波（９５０ｋＨｚ）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックＵＳシャワースペック

項(xiàng)目	仕様
型名	６８７９ＢＫ	７９７９ＢＫ	７８ＢＫ３０－６６０
許容入力	６００Ｗ	９００Ｗ	１２００Ｗ
公稱共振周波數(shù)	９５０ｋＨｚ
有効洗浄寸法	３３０ｍｍ	４９５ｍｍ	６６０ｍｍ
所用水量	２０～２５?／分	２０～３０?／分	４０～４５?／分
ケース材質(zhì)	ＳＵＳ３１６Ｌ
振動(dòng)板材質(zhì)	ＳＵＳ３１６Ｌ
接液部	複合電解研磨処理
*高使用溫度	７０℃
コード長(zhǎng)	振動(dòng)子用：５Ｍ２本	振動(dòng)子用：５Ｍ３本	振動(dòng)子用：５Ｍ４本
コード長(zhǎng)	センサー用：５Ｍ１本	センサー用：５Ｍ１本	センサー用：５Ｍ２本
保護(hù)回路	液面センサー（テフロン）
保護(hù)回路	ＦＵ９３（キーエンス）
重量	５㎏	６㎏	７㎏